Hassas parçaların işlenmesi, tüm yüzeylerin tüm işleme içeriğini tek bir işlemde tamamlayamaz. Hassas parçaların işlenmesinin tüm işleme süreci aşağıdaki aşamalara ayrılabilir:
(1) Kabartma aşaması. İşleme paylarının çoğu, işlenmiş yüzeylerin her birinden çıkarılır ve iyi referanslar yapılır. Ana düşünce, verimliliği olabildiğince arttırmaktır.
(2) Yarı finiş aşaması. Pürüzlü işlemeden sonra ortaya çıkabilecek kusurların giderilmesi, finiş işleme için yüzeyi hazırlar, belirli bir dereceye kadar işleme doğruluğunu gerektirir, uygun bir sonlandırma toleransını garanti eder ve aynı zamanda ikincil yüzeylerin işlenmesini tamamlar.
(3) bitirme aşaması. Bu aşamada, önceki işlem tarafından kalan sonlandırma payını kaldırmak için büyük bir kesme hızı, küçük bir besleme hızı ve bir kesme derinliği kullanılır, böylelikle parçanın yüzeyi desenin teknik gereksinimlerine ulaşır.
(4) bitirme aşaması. Esas olarak yüzey pürüzlülük değerini azaltmak veya işlenmiş yüzeyi güçlendirmek için kullanılır. Özellikle yüzey sertliği yüksek yüzey pürüzlülüğü için kullanılır (≤0,32 μm).
(6) Ultra hassas işleme aşaması. İşleme hassasiyeti 0.1-0.01μm'dir ve yüzey pürüzlülük değeri 0,001μm'dir. Ana işleme yöntemleri: hassas kesim, hassas ayna taşlama, hassas taşlama ve parlatma vb.